1. 現存のポンプ、部品等を使用しての排気系改造、等
2. 仕様打合せにてチャンバーユニットの組み換え、改造の設計、部品製作、組立、Heテスト、試運転、
3. 真空装置移転 解体、→梱包、→移動、→再組立、→Heテスト、→試運転
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