昭和13年 5月
工作機械の製造を目的として創業
昭和20年 10月
一般産業機械及び部品加工を再開する。
昭和25年 2月
株式会社 ダイヘンの溶接機及び変圧器用ラジエータバルブの製造を始める。
昭和32年 5月
現在地に本社工場建設、移転
昭和35年 11月
法人に改組、資本金500万円
昭和38年 7月
資本金750万円に増資
昭和38年 10月
株式会社 芦田製作所の真空ポンプ及び染色機会の製造を始める。
昭和42年 10月
資本金1000万円に増資
昭和45年 2月
資本金1500万円に増資
昭和48年 11月
第二工場新築
昭和49年 5月
資本金2000万円に増資
昭和50年
省力化機械の設計、製作を始める。
昭和60年 2月
真空溶接継手の製造を始める。
昭和60年 4月
真空チャンバ及び真空装置の製造を始める。
平成 2年 4月
真空装置用工場新築、UHVチャンバの製造を始める。
平成 2年 7月
UHVチャンバで到達圧力−11乗台になる。
平成 3年 4月
クラス1000クリーンブース導入 半導体装置向けガス供給システムの製造を始める
平成19年 3月
クリーンルーム増設
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